Componenti in ceramica di allumina antistatici per la manipolazione di wafer sensibili alle scariche elettrostatiche.

I componenti in ceramica di allumina di St.Cera, resistenti alle scariche elettrostatiche (ESD), sono realizzati con Al₂O₃ ad elevata purezza (99,8%) e presentano una resistività superficiale personalizzata di 10⁶–10⁹ Ω/quadrato, ottenuta tramite un processo di drogaggio o rivestimento proprietario. Questi componenti dissipano efficacemente la carica statica, prevenendo danni elettrostatici a wafer e dispositivi semiconduttori sensibili. Il materiale di base mantiene la sua elevata resistenza alla flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) e rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m). I componenti in ceramica resistenti alle scariche elettrostatiche includono effettori terminali, perni di sollevamento, guide e dispositivi di fissaggio personalizzati per l'automazione FAB.

Schemi(basato su Al₂O₃ al 99,8% con trattamento ESD):

Nota: la resistività superficiale ESD non è riportata nelle tabelle delle proprietà dei materiali fornite. L'intervallo sopra indicato rappresenta lo standard di settore per le ceramiche dissipative. Per i rapporti di prova, si prega di contattarci.

Applicazioni:

● Effettori terminali antistatici per il trasferimento di wafer

● Perni di messa a terra e dispositivi ESD nelle apparecchiature FAB

● Testare le prese per dispositivi sensibili alle scariche elettrostatiche

● Attrezzature per camere bianche dove il controllo statico è fondamentale

Produzione e qualità:

Processo standard di allumina + trattamento superficiale ESD → resistività superficiale misurata secondo ANSI/ESD STM11.11. Ogni componente viene testato al 100% con un elettrodo ad anello concentrico.

Vantaggi:

● Previene la perdita di rendimento dovuta alle scariche elettrostatiche (ESD)

● Mantiene la resistenza meccanica e chimica della ceramica

● Nessuna generazione di particelle da scarica statica