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Anello isolante in allumina PVD per sistemi di deposizione fisica da fase vapore
L'anello isolante PVD di St.Cera è realizzato in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%) per l'utilizzo in sistemi di deposizione fisica da fase vapore (PVD). L'anello fornisce isolamento elettrico tra i componenti della camera, prevenendo la formazione di archi elettrici e garantendo un funzionamento stabile del plasma. Le proprietà principali includono un'elevata rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), una resistenza specifica >10¹⁴ Ω·mm²/m e una stabilità termica fino a 1600 °C. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di ottenere diametri esterni fino a 600 mm, diametri interni fino a 0,2 mm, una planarità di 0,003 mm e una finitura superficiale Ra0,1. L'assenza di porosità e l'inerzia chimica dell'anello garantiscono un'affidabilità a lungo termine in ambienti di sputtering aggressivi.
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Componenti in ceramica di allumina per sistemi di evaporazione per pistole elettroniche
St.Cera produce componenti ceramici in allumina ad alta purezza (99,8%) specificamente progettati per sistemi di evaporazione a fascio di elettroni (E-gun). Questi componenti includono rivestimenti per crogioli, schermi deflettori per il fascio, isolanti e dispositivi di montaggio. Il materiale offre un'elevata rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), stabilità termica fino a 1600 °C ed eccellente resistenza agli shock termici e all'attacco chimico da parte dei materiali evaporati. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di realizzare geometrie complesse con dimensioni minime dei dettagli di 0,2 mm, planarità di 0,003 mm e finitura superficiale Ra0,1. Ogni componente viene ispezionato al 100% con una macchina di misura a coordinate (CMM) per verificarne l'accuratezza dimensionale.
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Componenti in ceramica di allumina al 99,5% personalizzati ST.CERA
I componenti strutturali in ceramica sono un termine generico che indica diverse forme complesse di parti in ceramica. Realizzati con polvere ceramica ad elevata purezza, questi componenti vengono formati mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzati ad alta temperatura e successivamente lavorati con precisione. Grazie alle loro caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, trovano ampio impiego in settori quali apparecchiature per semiconduttori, telecomunicazioni ottiche, laser, apparecchiature mediche, petrolchimico, metallurgico ed elettronico.
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Braccio di caricamento personalizzato ST.CERA in ceramica di allumina al 99,5%.
Il braccio terminale/di manipolazione in ceramica è installato sul robot di movimentazione dei wafer o "effettore terminale" e viene utilizzato per trasportare i wafer di silicio all'interno o all'esterno delle cassette o delle camere di processo.
I vantaggi derivanti dall'utilizzo della ceramica consistono nella riduzione della flessione grazie all'elevata resistenza alla flessione, nella resistenza alle alte temperature e nell'eliminazione della contaminazione da metalli e particelle. -
Componenti ceramici personalizzati ST.CERA in allumina al 99,5%.
Realizzati con polvere ceramica ad elevata purezza, i componenti ceramici vengono formati mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzati ad alta temperatura e successivamente lavorati con precisione. Grazie alle loro caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, trovano ampio impiego in apparecchiature per semiconduttori, comunicazioni ottiche, laser, apparecchiature mediche, industria petrolifera, metallurgica ed elettronica.
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Braccio di precisione per la movimentazione di wafer ceramici in allumina e ceramica per semiconduttori.
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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Componenti per apparecchiature a semiconduttore con braccio in ceramica di allumina isolata
Prevenire la formazione di particelle provenienti dai bordi smussati o angolati e dalla superficie posteriore durante il trasporto dei wafer o il loro contatto con l'End Effector/braccio di movimentazione.
Per le guide è stato adottato un materiale morbido che non danneggia il wafer.
Il diradamento è possibile grazie alla tecnologia a canali sottovuoto integrata di ST.CERA, che non utilizza adesivi.
È possibile realizzare fori di montaggio e modificare la lunghezza e la larghezza della base su cui è fissato l'End Effector/Braccio di Manipolazione al robot.
Il montaggio dei sensori, delle viti e delle staffe è disponibile come optional.
Progettato per essere utilizzato in atmosfera
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Elevata resistenza alle alte temperature delle ceramiche di precisione a base di allumina.
Realizzato con polvere ceramica ad elevata purezza, il tubo ceramico viene formato mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzato ad alta temperatura e successivamente lavorato con precisione. Grazie ai suoi numerosi vantaggi, quali resistenza all'abrasione, alla corrosione, elevata durezza, elevata tenacità e basso coefficiente di attrito, trova ampio impiego in apparecchiature mediche, macchinari di precisione, laser, metrologia e apparecchiature di ispezione. Può operare a lungo in ambienti acidi e alcalini, raggiungendo temperature massime di 1600 °C.
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Asta in ceramica di allumina resistente ad alta pressione e usura, pistone in ceramica
Realizzata con polvere ceramica ad elevata purezza, la barra ceramica viene formata mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzata ad alta temperatura e successivamente lavorata con precisione. Grazie ai suoi numerosi vantaggi, quali resistenza all'abrasione, alla corrosione, elevata durezza, elevata tenacità e basso coefficiente di attrito, trova ampio impiego in apparecchiature mediche, macchinari di precisione, laser, metrologia e apparecchiature di ispezione. Può operare a lungo in ambienti acidi e alcalini, raggiungendo temperature massime di 1600 °C.
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Manicotto dell'albero in ceramica di allumina, stantuffo in ceramica
Realizzata con polvere ceramica ad elevata purezza, la barra ceramica viene formata mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzata ad alta temperatura e successivamente lavorata con precisione. Grazie ai suoi numerosi vantaggi, quali resistenza all'abrasione, alla corrosione, elevata durezza, elevata tenacità e basso coefficiente di attrito, trova ampio impiego in apparecchiature mediche, macchinari di precisione, laser, metrologia e apparecchiature di ispezione. Può operare a lungo in ambienti acidi e alcalini, raggiungendo temperature massime di 1600 °C. I materiali ceramici comunemente utilizzati sono zirconia, allumina (Al2O3) al 95% ~ 99,9%, nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AlN) e altri.
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Prestazioni eccellenti dei componenti strutturali meccanici in ceramica di allumina.
I componenti strutturali in ceramica sono un termine generico che indica diverse forme complesse di parti in ceramica. Realizzati con polvere ceramica ad elevata purezza, questi componenti vengono formati mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzati ad alta temperatura e successivamente lavorati con precisione. Trovano ampio impiego in settori quali apparecchiature per semiconduttori, telecomunicazioni ottiche, laser, apparecchiature mediche, petrolchimico, metallurgico ed elettronico.
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Componenti strutturali in ceramica di allumina Parti strutturali
Il termine "componenti strutturali in ceramica" si riferisce in generale a diverse forme complesse di componenti ceramici. Vengono realizzati mediante pressatura a secco o pressatura isostatica a freddo, sinterizzati ad alta temperatura e successivamente lavorati con macchine di precisione.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 400℃~800℃.
