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Braccio di caricamento personalizzato ST.CERA in ceramica di allumina al 99,5%.

Braccio di caricamento personalizzato ST.CERA in ceramica di allumina al 99,5%.

Breve descrizione:

Il braccio terminale/di manipolazione in ceramica è installato sul robot di movimentazione dei wafer o "effettore terminale" e viene utilizzato per trasportare i wafer di silicio all'interno o all'esterno delle cassette o delle camere di processo.
I vantaggi derivanti dall'utilizzo della ceramica consistono nella riduzione della flessione grazie all'elevata resistenza alla flessione, nella resistenza alle alte temperature e nell'eliminazione della contaminazione da metalli e particelle.


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Dettagli del prodotto

Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.

Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, l'End Effector in ceramica può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.

Grazie all'esclusiva tecnologia di incollaggio ceramico, l'End Effector in ceramica con cavità può funzionare ad un'elevata temperatura di 800℃.

Ecco le caratteristiche della ceramica di allumina con diversi gradi di purezza.

parametri del prodotto

logo

ST.CERA CO., LTD.

Scheda tecnica del materiale

Proprietà Unità Allumina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Colore Bianco Avorio Avorio Avorio
Densità g/cm³ 3,88 3,90 3,93 3,95
Assorbimento dell'acqua % 0 0 0 0
Dimensione del grano μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Resistenza alla flessione MPa 350 360 361 350
Tenacità alla frattura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Durezza Vickers GPa 14 15.5 16 16
Modulo elastico di Young GPa 370 370 380 390
Conduttività termica W/m·k 28 32 32 34
Coefficiente di dilatazione termica 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Costante dielettrica 9.5 9.6 9.6 9.9
Angolo di perdita dielettrica 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Resistenza dielettrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistenze specifiche Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

processo di produzione

Granulazione a spruzzo → polvere ceramica → Formatura → Sinterizzazione del grezzo → Sgrossatura → Lavorazione CNC → Rettifica fine → Controllo dimensionale → Pulizia Imballaggio

Dettagli essenziali

Luogo di origine: Hunan, Cina
Materiale: Ceramica di allumina
Codice HS: 85471000
Capacità di fornitura: 100 pezzi al mese
Tempi di consegna: 3-4 settimane
Imballaggio: scatola di cartone ondulato, schiuma, cartone
Altro: Servizio di personalizzazione disponibile


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