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Braccio caricatore in ceramica di allumina al 99,5% personalizzato ST.CERA

Braccio caricatore in ceramica di allumina al 99,5% personalizzato ST.CERA

Breve descrizione:

L'effettore finale/braccio di movimentazione in ceramica è installato sul robot di movimentazione dei wafer o sugli "effettori finali" e viene utilizzato per trasportare i wafer di silicio dentro o fuori dalle cassette o dalle camere di processo.
I vantaggi dell'utilizzo della ceramica sono la riduzione della deflessione dovuta all'elevata resistenza alla flessione, la resistenza alle alte temperature e l'eliminazione della contaminazione e delle particelle metalliche.


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Dettagli del prodotto

Con caratteristiche di resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, resistenza all'abrasione e isolamento, la ceramica può funzionare a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivo.

Realizzato con polvere di allumina di elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, l'effettore finale in ceramica può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza alla temperatura 1600℃.

L'effettore finale in ceramica con cavità può funzionare a temperature elevate di 800 ℃ grazie all'esclusiva tecnologia di legame ceramico.

Ecco le caratteristiche della ceramica di allumina con diversa purezza.

parametri del prodotto

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ST.CERA CO., LTD.

Scheda Dati Materiale

Proprietà Unità Allumina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Colore Bianco Avorio Avorio Avorio
Densità g/cm3 3.88 3,90 3.93 3,95
Assorbimento dell'acqua % 0 0 0 0
Granulometria µm 2~5 2~5 2~5 2~4
Resistenza alla flessione MPa 350 360 361 350
Resistenza alla frattura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Durezza Vickers GPa 14 15.5 16 16
Modulo elastico di Young GPa 370 370 380 390
Conduttività termica W/m·k 28 32 32 34
Coefficiente di dilatazione termica 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Costante dielettrica 9.5 9.6 9.6 9.9
Angolo di perdita dielettrica 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Rigidità dielettrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistenza specifica Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Processo produttivo

Granulazione a spruzzo → polvere ceramica → Formatura → Sinterizzazione del grezzo → Rettifica grossolana → Lavorazione CNC → Rettifica fine → Ispezione dimensionale → Pulizia imballaggio

Dettagli essenziali

Luogo di origine: Hunan, Cina
Materiale: ceramica di allumina
Codice HS: 85471000
Capacità di fornitura: 100 pezzi al mese
Tempi di consegna: 3-4 settimane
Pacchetto: scatola di cartone ondulato, schiuma, cartone
Altro: servizio di personalizzazione disponibile


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