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Effettore terminale in ceramica di allumina ad alta purezza per robot di movimentazione wafer
L'effettore finale in ceramica di allumina di St.Cera è lavorato con precisione da Al₂O₃ ad alta purezza (99,8%) utilizzando attrezzature di rettifica CNC a 5 assi avanzate. Le nostre capacità produttive includono rettificatrici di precisione e centri di lavoro CNC, che consentono di realizzare geometrie complesse con elevata precisione. L'effettore finale presenta un profilo sottile (fino a 1,5 mm) con un bordo anteriore rastremato per un inserimento fluido del wafer. Il materiale offre elevata rigidità (modulo di Young 380 GPa), eccellente resistenza all'usura e stabilità termica fino a 800 °C. Ogni unità è rettificata con precisione per ottenere una planarità di 0,003 mm, un parallelismo di 0,002 mm e una finitura superficiale Ra0,1, garantendo un contatto costante con il wafer e un funzionamento privo di particelle negli ambienti FAB dei semiconduttori. Disponibile in lunghezze da 150 mm a 450 mm, con geometrie della punta personalizzate (edge grip, Bernoulli, piatta) e flange di montaggio per adattarsi ai robot OEM. Le opzioni di finitura superficiale includono lappatura, lucidatura o rivestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/quadrato).
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Effettore finale Bernoulli in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
In qualità di produttori leader di End Effector/bracci di manipolazione in ceramica, abbiamo sviluppato un End Effector/braccio di manipolazione non convenzionale che risponde alle esigenze di questo mercato. Il braccio End Effector/braccio di manipolazione in ceramica, basato sul principio di Bernoulli, è in grado di levitare e trasportare il wafer tramite flusso d'aria con un contatto periferico minimo.
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Effettore terminale in ceramica ESD personalizzato ST.CERA
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
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Effettore terminale di presa in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
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Effettore finale per vassoio in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
Si tratta di un effettore finale/braccio di manipolazione in ceramica a forma di vassoio, utilizzato in condizioni di vuoto.
Il braccio terminale/di presa in ceramica è "più resistente al calore", "meno soggetto a flessioni" e "più leggero" rispetto a quelli in metallo.
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Effettore finale di aspirazione in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
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Effettore finale in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
ST.CERA offre rivestimenti ESD e materiale ceramico ESD. L'End Effector, realizzato in polvere di allumina ad alta purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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Effettore finale per vuoto in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
Si tratta di un effettore finale/braccio di manipolazione in ceramica a forma di vassoio, utilizzato in condizioni di vuoto.
Il braccio terminale/di presa in ceramica è "più resistente al calore", "meno soggetto a flessioni" e "più leggero" rispetto a quelli in metallo.
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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ST.CERA - Effettore finale in ceramica di allumina personalizzato per la movimentazione di wafer
ST.CERA offre un rivestimento ESD e un braccio terminale/di manipolazione in materiale ceramico ESD con canale cavo integrato. Siamo specializzati in una tecnica che crea un canale d'aria sottovuoto all'interno di un unico pezzo di materiale senza l'utilizzo di adesivi.
Non sussiste alcun rischio di contaminazione, degassamento o rilascio di particelle. L'effettore finale/braccio di movimentazione a vuoto di ST.CERA, grazie alla speciale tecnologia di rivestimento, è elettricamente isolato. Possiamo inoltre fornire materiale ceramico ESD elettricamente isolato, senza alcun rivestimento.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃. -
Componenti per apparecchiature a semiconduttore con effettore finale in ceramica di allumina
Prevenire la formazione di particelle provenienti dai bordi smussati o angolati e dalla superficie posteriore durante il trasporto dei wafer o il loro contatto con l'End Effector/braccio di movimentazione.
Per le guide è stato adottato un materiale morbido che non danneggia il wafer.
Il diradamento è possibile grazie alla tecnologia a canali sottovuoto integrata di ST.CERA, che non utilizza adesivi.
È possibile realizzare fori di montaggio e modificare la lunghezza e la larghezza della base su cui è fissato l'End Effector/Braccio di Manipolazione al robot.
Il montaggio dei sensori, delle viti e delle staffe è disponibile come optional.
Progettato per essere utilizzato in atmosfera.
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Lavorazione CNC personalizzata dell'effettore terminale in ceramica St.Cera.
ST.CERA offre un effettore finale/braccio di movimentazione in ceramica sottovuoto con canale cavo integrato. Siamo specializzati in una tecnica che permette di creare un canale d'aria sottovuoto all'interno di un unico pezzo di materiale senza l'utilizzo di adesivi.
Non sussiste alcun rischio di contaminazione, degassamento o rilascio di particelle. L'effettore finale/braccio di movimentazione a vuoto di ST.CERA con canale integrato è resistente e utilizzabile ad alte temperature. Inoltre, l'eliminazione di assemblaggi non necessari consente di ridurre i costi di produzione.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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Effettore finale in ceramica antistatica di allumina
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
