Effettore terminale in ceramica di allumina ad alta purezza per robot di movimentazione wafer
L'effettore finale in ceramica di allumina di St.Cera è lavorato con precisione da Al₂O₃ ad alta purezza (99,8%) utilizzando attrezzature di rettifica CNC a 5 assi all'avanguardia. Le nostre capacità produttive includono rettificatrici di precisione e centri di lavoro CNC, che consentono di realizzare geometrie complesse con elevata precisione. L'effettore finale presenta un profilo sottile (fino a 1,5 mm) con un bordo anteriore rastremato per un inserimento fluido del wafer. Il materiale offre elevata rigidità (modulo di Young 380 GPa), eccellente resistenza all'usura e stabilità termica fino a 800 °C. Ogni unità è rettificata con precisione per ottenere una planarità di 0,003 mm, un parallelismo di 0,002 mm e una finitura superficiale Ra0,1, garantendo un contatto costante con il wafer e un funzionamento privo di particelle negli ambienti FAB dei semiconduttori. Disponibile in lunghezze da 150 mm a 450 mm, con geometrie della punta personalizzate (edge grip, Bernoulli, piatta) e flange di montaggio per adattarsi ai robot OEM. Le opzioni di finitura superficiale includono lappatura, lucidatura o rivestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/quadrato).
Specifiche (basate su Al 99,8%)₂O₃e capacità produttive di St.Cera):
| Proprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Allumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza alla flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Modulo di Young | 380 GPa |
| Piattezza | 0,003 mm |
| Parallelismo | 0,002 mm |
| Finitura superficiale | Ra0.1 (lappato/lucidato) |
| Temperatura massima di esercizio | 800 °C |
| Gamma di lunghezze | 150–450 mm |
Applicazioni:
- · Trasferimento di wafer in robot sottovuoto e in atmosfera controllata
- · Effettori terminali per l'automazione FAB per wafer da 200 mm/300 mm
- · Gestione di wafer sottili (con opzione ESD)
Capacità produttive:
Le nostre rettificatrici di precisione e i centri di lavoro CNC consentono la produzione di componenti ceramici complessi con:
- · Lunghezza massima di lavorazione: 1500 mm
- · Diametro esterno massimo: 600 mm
- · Diametro interno minimo: 0,2 mm
- · Spessore massimo: 100 mm
Controllo qualità:
Rettilineità 0,005 mm, perpendicolarità 0,005 mm, rotondità 0,002 mm, parallelismo 0,002 mm, concentricità 0,01 mm verificati tramite CMM. Ogni unità viene pulita a ultrasuoni e confezionata in camera bianca di Classe 100.
