Mandrino a vuoto in allumina per taglio e rettifica di precisione
Il mandrino a vuoto in allumina di St.Cera è realizzato in Al₂O₃ ad alta purezza (99,8%) con scanalature per il vuoto lavorate con precisione. La nostra capacità di rettifica di precisione raggiunge una planarità di 0,003 mm e un parallelismo di 0,002 mm, garantendo un fissaggio del wafer senza deformazioni durante il taglio, la rettifica del lato posteriore e l'ispezione. Il materiale offre elevata resistenza alla flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) e stabilità termica fino a 800 °C. Disponibile in formati rotondi fino a 600 mm di diametro esterno (OD) e rettangolari fino a 1500 mm di lunghezza. Le scanalature per il vuoto sono progettate su misura (concentriche, radiali o a griglia) per soddisfare le specifiche esigenze di processo. Ogni mandrino viene ispezionato con un interferometro laser e fornito con un rapporto di verifica della planarità.
Specifiche (basate su Al 99,8%)₂O₃e capacità produttive di St.Cera):
| Proprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Allumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza alla flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Diametro esterno (massimo) | 600 mm |
| Spessore (massimo) | 100 mm |
| Lunghezza (massima) | 1500 mm |
| Piattezza | 0,003 mm |
| Parallelismo | 0,002 mm |
| Finitura superficiale | Ra0.1 |
| Temperatura massima di esercizio | 800 °C |
Applicazioni:
- • Taglio e incisione di wafer (200 mm/300 mm e superiori)
- · Rettifica del lato posteriore di wafer sottili
- · Ispezione e sondaggio ottico
- · Gestione di substrati di grandi dimensioni
Precisione di fabbricazione:
- · Rettilineità: 0,005 mm
- · Perpendicolarità: 0,005 mm
- • Rotondità: 0,002 mm
- · Concentricità: 0,01 mm
