Componenti per apparecchiature a semiconduttore con braccio in ceramica di allumina isolata

Breve descrizione:

Prevenire la formazione di particelle provenienti dai bordi smussati o angolati e dalla superficie posteriore durante il trasporto dei wafer o il loro contatto con l'End Effector/braccio di movimentazione.

Per le guide è stato adottato un materiale morbido che non danneggia il wafer.

Il diradamento è possibile grazie alla tecnologia a canali sottovuoto integrata di ST.CERA, che non utilizza adesivi.

È possibile realizzare fori di montaggio e modificare la lunghezza e la larghezza della base su cui è fissato l'End Effector/Braccio di Manipolazione al robot.

Il montaggio dei sensori, delle viti e delle staffe è disponibile come optional.

Progettato per essere utilizzato in atmosfera