Lastra in ceramica di allumina di grande formato per dispositivi per semiconduttori e applicazioni industriali.
St.Cera produce lastre ceramiche di grande formato in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%) con dimensioni massime fino a 1500 mm di lunghezza e 600 mm di larghezza. Le nostre capacità di rettifica di precisione consentono di ottenere una planarità di 0,003 mm su 100 mm e un parallelismo di 0,002 mm, garantendo una qualità superficiale costante per applicazioni su larga scala. Spessore fino a 100 mm, finitura superficiale fino a Ra0,1. Queste lastre vengono utilizzate come basi per mandrini a vuoto, piastre riscaldanti, pannelli di isolamento elettrico e pavimenti per camere di processo nella produzione di semiconduttori, display e fotovoltaico. Disponibili fori passanti, svasature e profilatura dei bordi.
Specifiche (basate su Al 99,8%)₂O₃e capacità produttive di St.Cera):
| Proprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Allumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza alla flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Resistenza dielettrica | 15×10⁶ V/m |
| Lunghezza massima | 1500 mm |
| Larghezza massima | 600 mm |
| Spessore massimo | 100 mm |
| Planarità (per 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallelismo | 0,002 mm |
| Finitura superficiale | Ra0.1 (lappato/lucidato) |
| Temperatura massima di esercizio | 1600 °C |
Applicazioni:
- · Piastre di base per mandrini a vuoto per wafer e pannelli di grandi dimensioni
- • Piastre riscaldanti per apparecchiature di trattamento termico
- · Pannelli di isolamento elettrico nei sistemi ad alta tensione
- · Pavimenti della camera di processo e piastre di rivestimento
Precisione di fabbricazione:
Rettilineità: 0,005 mm, perpendicolarità: 0,005 mm, verificata con interferometro laser.
Vantaggi rispetto alle piastre metalliche:
- · Assenza di contaminazione metallica – fondamentale per i processi di produzione dei semiconduttori
- · Assenza di degassamento: ideale per ambienti sottovuoto
- • Resistenza superiore all'usura e agli agenti chimici
Personalizzazione:
Sono disponibili configurazioni di foratura personalizzate, profili dei bordi, superfici a gradini e aree di montaggio metallizzate.
