Braccio robotico in ceramica di allumina ad alta purezza per la movimentazione di wafer

Il braccio robotico in ceramica di allumina di St.Cera è progettato con precisione a partire da Al₂O₃ (allumina) ad alta purezza (99,8%). Combina un'eccezionale resistenza alla flessione (361 MPa), un'elevata durezza (16 GPa) e una bassa densità (3,93 g/cm³), risultando in un braccio leggero ma rigido per il trasferimento di wafer di semiconduttori. Il coefficiente di dilatazione termica del materiale (7,2×10⁻⁶/°C) è molto simile a quello del silicio, minimizzando la differenza di temperatura durante la lavorazione.

Schemi (basato su Al₂O₃ al 99,8%):

Applicazioni:

- Robot per il trasferimento di wafer sottovuoto (200 mm/300 mm)

- Sistemi di trattamento atmosferico

- Bracci effettori terminali per l'automazione FAB

Processo di produzione:

Pressatura isostatica → lavorazione a verde → sinterizzazione a 1600 °C → rettifica di precisione CNC → pulizia a ultrasuoni → confezionamento in camera bianca di classe 100. Ogni braccio viene ispezionato al 100% tramite CMM per planarità (±0,01 mm) e rugosità superficiale (Ra ≤0,4 μm).

Controllo qualità:

St.Cera è certificata ISO 9001:2015. Eseguiamo test con liquidi penetranti per la rilevazione di microfratture, prove di flessione a tre punti per la resistenza alla flessione e test di rigidità dielettrica secondo la norma ASTM D149.

Vantaggi rispetto alle braccia metalliche:

- 50% più leggero dell'acciaio inossidabile

- Nessuna corrosione galvanica

- Minore generazione di particelle (≤0,05 particelle/cm²)

- Rivestimento antistatico disponibile (10⁶–10⁹ Ω/quadrato)

Personalizzazione:

Lunghezze da 150 mm a 450 mm, forme della punta (presa laterale, Bernoulli, a vuoto) e configurazioni della flangia di montaggio secondo i disegni OEM. Prototipi in 2 settimane.

Per ordini all'ingrosso, si prega di richiedere un preventivo.