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ST.CERA Apparecchiature per semiconduttori personalizzate Mandrini in ceramica
I processi critici nel settore dei semiconduttori devono essere eseguiti in camera bianca, soprattutto per i dispositivi che devono essere utilizzati in condizioni di alta temperatura, vuoto e gas corrosivi. I materiali ceramici sono in grado di mantenere un'elevata stabilità in ambienti fisici e chimici complessi.
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ST.CERA Apparecchiature per semiconduttori personalizzate Piastra in ceramica
I processi critici nel settore dei semiconduttori devono essere eseguiti in camera bianca, soprattutto per i dispositivi che devono essere utilizzati in condizioni di alta temperatura, vuoto e gas corrosivi. I materiali ceramici sono in grado di mantenere un'elevata stabilità in ambienti fisici e chimici complessi.
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Anello di messa a fuoco in ceramica a semiconduttore personalizzato ST.CERA
I processi critici nel settore dei semiconduttori devono essere eseguiti in camera bianca, soprattutto per i dispositivi che devono essere utilizzati in condizioni di alta temperatura, vuoto e gas corrosivi. I materiali ceramici sono in grado di mantenere un'elevata stabilità in ambienti fisici e chimici complessi.
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Braccio di caricamento personalizzato ST.CERA in ceramica di allumina al 99,5%.
Il braccio terminale/di manipolazione in ceramica è installato sul robot di movimentazione dei wafer o "effettore terminale" e viene utilizzato per trasportare i wafer di silicio all'interno o all'esterno delle cassette o delle camere di processo.
I vantaggi derivanti dall'utilizzo della ceramica consistono nella riduzione della flessione grazie all'elevata resistenza alla flessione, nella resistenza alle alte temperature e nell'eliminazione della contaminazione da metalli e particelle. -
Effettore finale in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
ST.CERA offre rivestimenti ESD e materiale ceramico ESD. L'End Effector, realizzato in polvere di allumina ad alta purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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Anello di messa a fuoco in ceramica semiconduttrice personalizzato ST.CERA
Realizzati in ceramica di allumina ad elevata purezza (superiore al 99,5%), formata mediante pressatura isostatica a freddo e sinterizzata ad alta temperatura, quindi lavorata e lucidata con precisione, i ricambi in ceramica possono soddisfare qualsiasi requisito rigoroso delle apparecchiature per semiconduttori grazie alle loro caratteristiche di resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, bassa dilatazione termica e isolamento.
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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ST.CERA Boccola di precisione in ceramica di allumina per semiconduttori, personalizzata
Realizzati in ceramica di allumina ad elevata purezza (superiore al 99,5%), formata mediante pressatura isostatica a freddo e sinterizzata ad alta temperatura, quindi lavorata e lucidata con precisione, i ricambi in ceramica possono soddisfare qualsiasi requisito rigoroso delle apparecchiature per semiconduttori grazie alle loro caratteristiche di resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, bassa dilatazione termica e isolamento.
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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Effettore finale per vuoto in ceramica di allumina personalizzato ST.CERA
Si tratta di un effettore finale/braccio di manipolazione in ceramica a forma di vassoio, utilizzato in condizioni di vuoto.
Il braccio terminale/di presa in ceramica è "più resistente al calore", "meno soggetto a flessioni" e "più leggero" rispetto a quelli in metallo.
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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ST.CERA Tubi e barre in ceramica di allumina al 99,5% personalizzati
Grazie alle sue caratteristiche di resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'abrasione e all'isolamento, la ceramica può essere utilizzata a lungo in molti tipi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori in condizioni di alta temperatura, vuoto o gas corrosivi.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
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ST.CERA - Effettore finale in ceramica di allumina personalizzato per la movimentazione di wafer
ST.CERA offre un rivestimento ESD e un braccio terminale/di manipolazione in materiale ceramico ESD con canale cavo integrato. Siamo specializzati in una tecnica che crea un canale d'aria sottovuoto all'interno di un unico pezzo di materiale senza l'utilizzo di adesivi.
Non sussiste alcun rischio di contaminazione, degassamento o rilascio di particelle. L'effettore finale/braccio di movimentazione a vuoto di ST.CERA, grazie alla speciale tecnologia di rivestimento, è elettricamente isolato. Possiamo inoltre fornire materiale ceramico ESD elettricamente isolato, senza alcun rivestimento.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃. -
Componenti per apparecchiature a semiconduttore con effettore finale in ceramica di allumina
Prevenire la formazione di particelle provenienti dai bordi smussati o angolati e dalla superficie posteriore durante il trasporto dei wafer o il loro contatto con l'End Effector/braccio di movimentazione.
Per le guide è stato adottato un materiale morbido che non danneggia il wafer.
Il diradamento è possibile grazie alla tecnologia a canali sottovuoto integrata di ST.CERA, che non utilizza adesivi.
È possibile realizzare fori di montaggio e modificare la lunghezza e la larghezza della base su cui è fissato l'End Effector/Braccio di Manipolazione al robot.
Il montaggio dei sensori, delle viti e delle staffe è disponibile come optional.
Progettato per essere utilizzato in atmosfera.
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Lavorazione CNC personalizzata dell'effettore terminale in ceramica St.Cera.
ST.CERA offre un effettore finale/braccio di movimentazione in ceramica sottovuoto con canale cavo integrato. Siamo specializzati in una tecnica che permette di creare un canale d'aria sottovuoto all'interno di un unico pezzo di materiale senza l'utilizzo di adesivi.
Non sussiste alcun rischio di contaminazione, degassamento o rilascio di particelle. L'effettore finale/braccio di movimentazione a vuoto di ST.CERA con canale integrato è resistente e utilizzabile ad alte temperature. Inoltre, l'eliminazione di assemblaggi non necessari consente di ridurre i costi di produzione.
Realizzato con polvere di allumina ad elevata purezza, lavorata mediante pressatura isostatica a freddo, sinterizzazione ad alta temperatura e finitura di precisione, può raggiungere una tolleranza dimensionale di ±0,001 mm, una finitura superficiale Ra 0,1 e una resistenza alla temperatura di 1600℃.
