Effettore finale in ceramica di carburo di silicio (SiC) – Elevata rigidità per la manipolazione di wafer ad alta temperatura
L'effettore terminale in ceramica SiC di St.Cera è realizzato in carburo di silicio ad elevata purezza (contenuto di SiC 99,72%, Si libero 0,05%) utilizzando il materiale del lotto S1111. Offre eccezionali proprietà meccaniche: resistenza alla flessione 449 MPa (misurata), modulo elastico 457 GPa (misurato) e durezza Vickers 25–28 GPa (tipica). La bassa densità (3,10–3,15 g/cm³, tipica) garantisce un'elevata rigidità specifica, ideale per robot di trasferimento wafer ad alta velocità. Con una conduttività termica di 120–150 W/m·K (tipica) e un coefficiente di dilatazione termica di 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipico), questo effettore terminale dissipa efficacemente il calore e mantiene la stabilità dimensionale durante la manipolazione ad alta temperatura (fino a 1600–1700 °C, senza carico). Il colore nero/grigio e l'assorbimento d'acqua pari a zero garantiscono la compatibilità con le camere bianche.
Schemi(sulla base del rapporto di prova SiC S1111 fornito e dei valori tipici)):
| Proprietà | Valore |
| Materiale | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si libero) |
| Colore | Nero/Grigio |
| Densità | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Assorbimento dell'acqua | 0% |
| Resistenza alla flessione | 449 MPa (media) |
| Tenacità alla frattura | 3,12 MPa·m¹/² (media) |
| Modulo elastico | 457 GPa |
| Durezza Vickers | 25–28 GPa |
| Conducibilità termica (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura massima di utilizzo (senza carico) | 1600–1700 °C |
Applicazioni:
● Manipolazione di wafer ad alta temperatura (post-ricottura, RTP, epitassia)
● Camere di incisione al plasma che richiedono un'elevata resistenza all'erosione
● Robot di trasferimento ad alta velocità (leggeri, ad alta rigidità)
Produzione:
Sinterizzazione di polvere di SiC → rettifica di precisione CNC del profilo del braccio e delle caratteristiche di montaggio → lappatura della superficie → pulizia a ultrasuoni. Ispezione dimensionale al 100% e test di tenuta all'elio per applicazioni sottovuoto.
Controllo qualità:
● Ispezione con CMM di lunghezza, larghezza e planarità
● Test di resistenza alla flessione per lotto (secondo lo standard del rapporto di prova)
● Ispezione visiva al microscopio per individuare difetti superficiali
Vantaggi rispetto all'allumina o al metallo:
● Modulo elastico 2 volte superiore (457 GPa contro ~380 GPa per l'allumina) – minore deflessione
● Conduttività termica 3 volte superiore – dissipazione del calore più rapida
● Resiste a temperature superiori a 1600 °C rispetto agli 800 °C dell'allumina in aria
● Densità inferiore a quella dell'acciaio: riduzione di peso del 40%.
Personalizzazione:
Lunghezze da 150 a 450 mm, forme della punta (a spigolo vivo, Bernoulli, piatta), schemi di flangiatura di montaggio secondo disegno OEM.
*Tutti i dati meccanici sopra riportati provengono dal rapporto di prova fornito (lotto S1111). I valori termici e di durezza sono tipici per questo grado di SiC; per la certificazione specifica del lotto, si prega di contattarci.*
