Nucleo in ceramica di allumina ad elevata purezza per dispositivi di fissaggio per semiconduttori
Il nucleo ceramico in allumina di St.Cera è formato con precisione da Al₂O₃ ad elevata purezza (99,8%), offrendo un'eccezionale rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), stabilità termica fino a 1600 °C e resistenza allo scorrimento viscoso sotto carico. Questi nuclei sono utilizzati come componenti strutturali in dispositivi di processo ad alta temperatura, basi per riscaldatori, rivestimenti per camere al plasma e isolanti elettrici. L'elevata durezza del materiale (16 GPa) e il basso assorbimento d'acqua (0%) garantiscono un'affidabilità a lungo termine in ambienti difficili.
Schemi(basato sul 99,8% di Al)₂O₃):
| Proprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Allumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza alla flessione | 361 MPa |
| Tenacità alla frattura | 3–4 MPa·m¹/² |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Modulo di Young | 380 GPa |
| Conduttività termica | 32 W/m·k |
| Dilatazione termica (25-1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Resistenza dielettrica | 15×10⁶ V/m |
| Resistenze specifiche | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Temperatura massima di esercizio | 1600 °C |
Applicazioni:
- • Nucleo riscaldante per reattori epitassiali
- · Rivestimento e piastre di copertura della camera al plasma
- · Isolanti elettrici ad alta tensione
- · Base di fissaggio per robot di movimentazione wafer
Produzione:
Pressatura isostatica → lavorazione a verde → sinterizzazione a 1600 °C → rettifica CNC per le dimensioni finali (tolleranza ±0,01 mm). Ogni nucleo viene ispezionato tramite CMM e rilevamento difetti ad ultrasuoni.
Garanzia di qualità:
Certificazione ISO 9001:2015. Test con liquidi penetranti per crepe superficiali; test di rigidità dielettrica secondo ASTM D149.
Avantaggi rispetto ad altri materiali ceramici:
- · Maggiore rigidità dielettrica rispetto alla zirconia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- • Costo inferiore rispetto al SiC per applicazioni non al plasma
- • Eccellente resistenza chimica agli alogeni (eccetto HF)
Forme personalizzate:
Cilindri, barre quadrate, piastre o geometrie complesse. Dimensione minima degli elementi: 0,5 mm.
Contattateci per la progettazione di nuclei personalizzati e per il supporto nella simulazione termica.
