Piastra di distribuzione del gas in allumina per soffione doccia CVD/PVD
La piastra di distribuzione del gas (a doccia) di St.Cera è realizzata con precisione in ceramica di allumina ad alta purezza (99,8%). Presenta una serie di microfori (diametri 0,3–1,5 mm) che garantiscono un flusso di gas uniforme sulla superficie del wafer durante i processi CVD, PVD o ALD. L'elevata rigidità dielettrica (>15×10⁶ V/m) e la resistenza al plasma della piastra la rendono essenziale per la deposizione di film sottili di semiconduttori.
Specifiche:
| Proprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Al₂O₃ o SiC |
| Diametro | 100 – 1500 mm (rotondo) o rettangolare |
| Spessore | 5 – 20 mm |
| Diametro del foro | 0,3 – 1,5 mm |
| Schema di tubi | Personalizzato (triangolare, quadrato, radiale) |
| Piattezza | ≤10 μm sull'intera area |
| Rugosità superficiale | Ra ≤0,6 μm (lato gas) |
| Rapporto di superficie aperta | 5–15% |
Applicazioni:
Piastre per soffione doccia in PECVD
Iniettori di gas ALD
Piastre di distribuzione del gas della camera di incisione
Componenti del reattore MOCVD
Produzione:
Substrato di allumina lappato → Foratura CNC con utensili diamantati (tolleranza di posizione del foro ±0,02 mm) → Sbavatura → Pulizia a ultrasuoni → Confezionamento in classe 100.
Controllo qualità:
Ogni piastra viene ispezionata al 100% per quanto riguarda le dimensioni dei fori (sistema di visione), la planarità (interferometro laser) e l'uniformità del flusso di gas (mappatura della pressione). Nessuna microfrattura visibile al microscopio 20x.
Vantaggi rispetto alle piastre metalliche:
Nessuna contaminazione metallica nei film sottili
Minore produzione di particelle (nessuna formazione di scaglie di corrosione)
Resiste ai plasmi di pulizia aggressivi (CF₄, NF₃)
Funzionalità personalizzate:
Canali del gas sul lato posteriore, fori svasati, guarnizioni dei bordi e diversi tipi di materiale (SiC per una maggiore conduttività termica, rivestimento in Y₂O₃ per la resistenza al plasma).
Forniamo verifica CAD e simulazione del flusso prima della produzione.
